蚀刻机的冷冻蚀刻技术是在冷冻断裂技术的基础上发展起来的更复杂的复型技术。如果将冷冻断裂的样品的温度稍微升高，让样品中的冰在真空中升华，而在表面上浮雕出细胞膜的超微结构。当大量的干冰升华之后，对浮雕表面进行铂一碳复型，并在腐蚀性溶液中除去生物材料，复型经重蒸水多次清洗后，捞在载网上作电镜观察。
　　技术优点：
　　蚀刻机的冷冻蚀刻技术是从50年代开始发展起来的一种将断裂和复型相结合的制备透射电镜样品技术，故而亦称冷冻断裂或冷冻复型。
　　它的优点在于：
　　①样品通过冷冻，可使其微细结构接近于活体状态；
　　②样品经冷冻断裂蚀刻后，能够观察到不同劈裂面的微细结构，进而可研究细胞内的膜性结构及内含物结构；
　　③冷冻蚀刻的样品，经铂、碳喷镀而制备的复型膜，具有很强的立体感且能耐受电子束轰击和长期保存。
　　技术缺点：
　　它的缺点是：冷冻也可造成样品的人为损伤；断裂面多产生在样品结构最脆弱的部位，无法有目的地选择。